การวิเคราะห์โพรบไอออนเป็นการระเบิดไอออนหลักพลังงานสูงระเบิดพื้นผิวตัวอย่างสปัตเตอร์เพื่อสร้างไอออนทุติยภูมิ หลังจากที่อนุภาคที่มีประจุเหล่านี้ถูกคั่นด้วยตัววิเคราะห์มวลพวกมันก็มาถึงเครื่องตรวจจับในที่สุดจึงได้รับการวิเคราะห์ที่แม่นยำขององค์ประกอบวัสดุบนพื้นผิวตัวอย่าง
